产品详情简介
总体规格特点:
● 重量：50kg（含显微镜）
● 尺寸：590mm宽*500mm长*700mm高（含显微镜）
● 优化的人体工学设计，便于工程师长时间舒适的操作
显微镜操控规格:
● 在探针台右侧有大摇杆，提起90度后，可以使显微镜快速倾仰抬起，方便在测试时更换物镜镜头
● 显微镜后侧有X/Y轴调节小摇轮，可调节显微镜在x-y方向的移动，移动范围2"X2"，精度1μm
● 显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮，粗旋钮方便快速调焦,细旋钮方便精确调焦，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动精度1μm
台面规格:
● 探针台台面平整度：5μm
● 探针台左侧有摇杠可以控制台面快速上下升降6mm。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的重选择
● 探针台右上方有转轮摇杆，摇动时可使台面线性上下升降，升降范围25mm，精度1μm。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的复位
卡盘（载物台，即图中的chuck）规格:
● 6" 卡盘，卡盘平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，带真空吸附孔，中心孔径250μm-1mm（可根据客户需求定制孔径大小），最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，最大能够吸住尺寸为6"X6"
● 卡盘可360度旋转，旋转角度可微调，微调精度为0.1度，带角度锁定旋钮
● 卡盘X，Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动，移动范围为6"X6"，移动精度为1μm，为方便点测的稳定性，带有锁住功能。如果点测6"wafer的时候，可以保证6"wafer的每一点都能够点测到
性能：
● 镀金真空吸附卡盘: 对应可选4" ，6"，8"，12"产品
● 大旋钮移动卡盘台，X-Y方向行程：6"-6"
● 卡盘快速拉出装置便于放置/拿去样品
● 线性无回差调节
● 台面快速升/降行程：6mm，精调升/降行程：25mm
● 样品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"
● 卡盘平整度: 10um
● 卡盘旋转角度：0~360°
● Chuck Theta: ±15?
● 大旋钮滑台X-Y方向精度: 1um
● 台面上/下升降摇杆/旋钮
● 显微镜倾仰装置
附件：
● 显微镜倾仰装置
● 射频测试探头/电缆
● 有源探头
● 低电流/电容测试
● 高压测试
● 激光修复
● CCD/数字相机，USB接口
● 探针卡/封装/PCB板夹具
● 加热装置
● 防震桌
● 屏蔽箱
● 显微镜暗场/Normarski 检测
